芯片上的毛刺可以用干冰清洗來處理嗎?
發(fā)布時(shí)間:2021-08-24 所屬分類:【行業(yè)動(dòng)態(tài)】閱讀:2103
半導(dǎo)體行業(yè)的芯片毛刺清洗采用干冰清洗的方式是最佳解決方案之一,可以將芯片上凹槽和周邊毛刺清洗干凈,不會(huì)損壞芯片,也不會(huì)產(chǎn)生二次污染。
芯片生產(chǎn)的基本流程
晶圓代工廠制造完成的晶圓在出廠前會(huì)經(jīng)過一道電性測試,稱為晶圓可接受度測試(Wafer Acceptance Test,WAT),WAT 測試通過的晶圓被送去封測廠。基本工藝流程包括晶圓減薄、晶圓切割、 芯片貼裝、固化、芯片互連、注塑成型、去飛邊毛刺、上焊錫、切筋成型、打碼等。
毛刺存在的普遍危害性
毛刺是金屬加工的必然產(chǎn)物,難以完全避免。毛刺的存在,不僅影響產(chǎn)品的外觀,而且影響產(chǎn)品的裝配、使用性能,加快設(shè)備之間的磨損,降低使用壽命。隨著高科技的發(fā)展、產(chǎn)品性能的提高,對產(chǎn)品質(zhì)量的要求越來越嚴(yán)格,去除機(jī)械零件的毛刺就愈加重要。毛刺的存在對產(chǎn)品質(zhì)量及產(chǎn)品裝配、使用、尺寸精度、形位精度影響很大,嚴(yán)重則使整套產(chǎn)品報(bào)廢,整部機(jī)器無法運(yùn)轉(zhuǎn)。
什么是毛刺
毛刺—是指金屬材料在加工過程中受擠壓變形,在產(chǎn)品加工邊緣生成的一種多余的鐵屑,俗稱飛邊,它們是在切割、磨削、銑削及其他類似的切屑加工過程中形成的。
干冰清潔毛刺效果怎么樣?
到目前為止,解決毛刺的方法:只有在產(chǎn)品加工結(jié)束后,增加去除毛刺的工序環(huán)節(jié)?,F(xiàn)在去除毛刺的主要方法有兩大類:化學(xué)去除類和物理去除類。
化學(xué)除去類去毛刺會(huì)使用到大量的化學(xué)品,其產(chǎn)生的環(huán)境污染是非常的強(qiáng)的,對其后續(xù)的一個(gè)污水處理每年也是一筆很大的費(fèi)用(少則幾百萬多則上千萬)都是在污水處理上的開銷。
物理去除類去毛刺會(huì)使用到的是干冰清潔,干冰清洗是一種類似于噴砂清洗的方式,它使用顆粒形式的干冰代替?zhèn)鹘y(tǒng)的噴砂介質(zhì),可在不磨損物體表面、無二次污染的情況下,高效除垢、完成清洗。
對比于傳統(tǒng)的化學(xué)清潔:
1.干冰清洗過程是完全干燥的、且不導(dǎo)電,它可免去傳統(tǒng)意義上繁瑣的拆機(jī)和調(diào)試工作,直接深入縫隙和凹槽、對付清潔死角。
2.干冰清洗不會(huì)對物體表面產(chǎn)生任何磨損、且不影響設(shè)備精度,甚至可適用于敏感脆弱表面的高效除垢。
3.干冰清洗的原料消耗成本低、設(shè)備停機(jī)時(shí)間短、污水處理及試模次數(shù)少,綜合成本和效率完勝化學(xué)方式。
清潔前 清潔后
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